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关于无尘厂房中的气流速度规定

       无尘厂房是指控制产品(如硅芯片等)所接触大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。
       气流速度是指无尘厂房内的气流速度,由于主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度,所以主要用换气次数这个概念,而不直接用速度的概念,不过对室内气流速度也有如下要求;
       (1)送风口出口气流速度不宜太大,较于单纯空调房间,要求速度衰减越快,扩散角度越大。
       (2)吹过水平面的气流速度(例如侧送时回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返气流,而造成再污染,这一速度一般不宜大于0.2m/s。
       对于平行流无尘厂房内,由于主要靠气流的活塞打挤压作用排除行染,所以截面上的速度就是很重要的指标。

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